| 1. Identificação | |
| Tipo de Referência | Artigo em Revista Científica (Journal Article) |
| Site | mtc-m16.sid.inpe.br |
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
| Identificador | 6qtX3pFwXQZ3r59YDa/Knec2 |
| Repositório | sid.inpe.br/iris@1916/2006/03.06.12.13 (acesso restrito) |
| Última Atualização | 2006:03.06.12.13.00 (UTC) administrator |
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/iris@1916/2006/03.06.12.13.04 |
| Última Atualização dos Metadados | 2018:06.05.01.20.24 (UTC) administrator |
| Chave Secundária | INPE-13569-PRE/8779 |
| ISSN | 0257-8972 |
| Chave de Citação | UedaBeRoBaGoBeAb:2001:PlImIo |
| Título | Plasma immersion ion implantation experiments at the Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais  |
| Ano | 2001 |
| Mês | Feb |
| Data de Acesso | 25 abr. 2024 |
| Tipo Secundário | PRE PI |
| Número de Arquivos | 1 |
| Tamanho | 191 KiB |
| 2. Contextualização | |
| Autor | 1 Ueda, Mario 2 Berni, Luis Angelo 3 Rossi, José Osvaldo 4 Barroso, Joaquim Jose 5 Gomes, Geraldo Francisco 6 Beloto, Antonio Fernando 7 Abramof, Eduardo |
| Identificador de Curriculo | 1 8JMKD3MGP5W/3C9JHSB 2 3 8JMKD3MGP5W/3C9JHJ5 4 5 8JMKD3MGP5W/3C9JH5D 6 8JMKD3MGP5W/3C9JGJ8 7 8JMKD3MGP5W/3C9JGUH |
| Grupo | 1 LAP-INPE-MCT-BR 2 LCP-INPE-MCT-BR 3 LAS-INPE-MCT-BR |
| Afiliação | 1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais, Laboratório Associado de Plasmas, (INPE, LAP) |
| Revista | Surface and Coatings Technology |
| Volume | 136 |
| Número | 1-3 |
| Páginas | 28-31 |
| Histórico (UTC) | 2006-03-06 12:13:05 :: vinicius -> administrator :: 2008-06-10 22:25:26 :: administrator -> vinicius :: 2011-05-21 09:20:06 :: vinicius -> administrator :: 2018-06-05 01:20:24 :: administrator -> marciana :: 2001 |
| 3. Conteúdo e estrutura | |
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
| Estágio do Conteúdo | concluido |
| Transferível | 1 |
| Tipo do Conteúdo | External Contribution |
| Palavras-Chave | plasma immersion ion implantation surface modification silicon nitride iron nitride high voltage pulse generators / HIGH-VOLTAGE NITROGEN SILICON |
| Resumo | Historical perspective of the development of PIII devices at the Institute Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) is given, together with the description of the present system under operation and our overall results on this three-dimensional implantation research. Starting with an ignitron switched pulser (1 pulse per 3 min) and an intermittent microwave plasma, we improved our PIII system developing a pulse forming network (PFN) based pulser (20 Hz), 2 years later. We also improved our plasma source towards a DC, highly stable, medium density glow discharge system. A much faster hard tube pulser was recently incorporated to our PIII system (670 Hz) allowing us to achieve good implantation results in different materials. Presently, we are testing a recently purchased RUP-4 commercial pulser to obtain are prevented, 1.1 kHz, square pulses for new experiments in this active field of PIII research. (C) 2001 Elsevier Science B.V. AU rights reserved. |
| Área | FISPLASMA |
| Arranjo 1 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > Plasma immersion ion... |
| Arranjo 2 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAP > Plasma immersion ion... |
| Arranjo 3 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABCP > Plasma immersion ion... |
| Conteúdo da Pasta doc | acessar |
| Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
| Conteúdo da Pasta agreement | não têm arquivos |
| 4. Condições de acesso e uso | |
| Idioma | en |
| Arquivo Alvo | 50.pdf |
| Grupo de Usuários | administrator vinicius |
| Visibilidade | shown |
| Detentor da Cópia | SID/SCD |
| Política de Arquivamento | denypublisher denyfinaldraft24 |
| Permissão de Leitura | deny from all and allow from 150.163 |
| 5. Fontes relacionadas | |
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ESR3H2 8JMKD3MGPCW/3ET2RFS 8JMKD3MGPCW/3ET38CH |
| Divulgação | WEBSCI; PORTALCAPES. |
| Acervo Hospedeiro | sid.inpe.br/banon/2003/08.15.17.40 |
| 6. Notas | |
| Campos Vazios | alternatejournal archivist callnumber copyright creatorhistory descriptionlevel documentstage doi e-mailaddress electronicmailaddress format isbn label lineage mark mirrorrepository nextedition notes orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project readergroup rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype typeofwork url versiontype |
| 7. Controle da descrição | |
| e-Mail (login) | marciana |
| atualizar | |